Ytpolaritonexcitation i keramyta
Publiceringsdatum: 2001-01-01
Rapportnummer: FOI-R--0069--SE
Sidor: 26
Skriven på: Svenska
Nyckelord:
- sensorer
- ytpolaritoner
- reststrålebandmaterial
- titandioxid
- sputtring
- sensors
- surface polaritons
- reststrahlenband-materials
- titanium oxide
- sputtering
Sammanfattning
Denna slutrapport avser det arbete, som utförts inom ramen för innovationsprojektet "Kerambaserad ytpolaritonsensoK´. Verksamheten har omfattat litteraturstudier, tunnfilmsoptiska beräkningar, deponeringsförsök med titandioxid på olika substrat och reflektans och transmittansmätningar i det infraröda området. Ett antal möjliga kombinationer av IR-transmitterande substrat och keramiska reststrålebandsmaterial har identifierats med tänkbar användning för den föreslagna sensorfunktionen. Beräkningarna har visat att ytpolaritonexcitation kan fås i en Ti02 film på ett dielektriskt substrat. Ett antal Ti02-filmer, med tjocklekar varierande från 100 till 1760 nm har deponerats i två olika magnetronsputteranläggningar. Dessa har undersökts med avseende på IR-reflektans och -transmittans. Reststråleband har observerats, som i läge, men inte i styrka, överensstämmer med de tunnfilmsoptiska beräkningarna. Några förslag till fortsatt aktivitet presenteras avslutningsvis.