Ytpolaritonexcitation i keramyta

Författare:

  • Ribbing Carl-Gustaf
  • Staaf Örjan

Publiceringsdatum: 2001-01-01

Rapportnummer: FOI-R--0069--SE

Sidor: 26

Skriven på: Svenska

Nyckelord:

  • sensorer
  • ytpolaritoner
  • reststrålebandmaterial
  • titandioxid
  • sputtring
  • sensors
  • surface polaritons
  • reststrahlenband-materials
  • titanium oxide
  • sputtering

Sammanfattning

Denna slutrapport avser det arbete, som utförts inom ramen för innovationsprojektet "Kerambaserad ytpolaritonsensoK´. Verksamheten har omfattat litteraturstudier, tunnfilmsoptiska beräkningar, deponeringsförsök med titandioxid på olika substrat och reflektans och transmittansmätningar i det infraröda området. Ett antal möjliga kombinationer av IR-transmitterande substrat och keramiska reststrålebandsmaterial har identifierats med tänkbar användning för den föreslagna sensorfunktionen. Beräkningarna har visat att ytpolaritonexcitation kan fås i en Ti02 film på ett dielektriskt substrat. Ett antal Ti02-filmer, med tjocklekar varierande från 100 till 1760 nm har deponerats i två olika magnetronsputteranläggningar. Dessa har undersökts med avseende på IR-reflektans och -transmittans. Reststråleband har observerats, som i läge, men inte i styrka, överensstämmer med de tunnfilmsoptiska beräkningarna. Några förslag till fortsatt aktivitet presenteras avslutningsvis.