Characterization of a micromachined membrane deformable mirror

Syftet med det är arbetet var att utvärdera en membranspegel med 37 kanaler som är en komponent som används inom adaptiv optik. Flera överföringsfunktioner med olika spänningsbias bestämdes och analyserades. En interferometer användes för att bestämma och utvärdera överföringsfunktionerna. Prestanda hos spegeln att representera vågfronter innehållande olika Zernikekoefficienter testades med ett öppen loop schema. En metod baserad på sluten loop användes för en överföringsfunktion för att rekonstruera tre olika Zernikepolynom. Resultaten visar att spegeln kan representera vågfronter bestående av Zernikepolynom med koefficienter av storleksordningen några radianer relativt använd bias. Antalet egenmoder hos spegeln som används vid vågfrontsrekonstruktionen har stor betydelse. Ett rekonstruktionsschema baserat på sluten loop förbättrade resultaten i jämförelse med öppen loop